求半導體晶圓熱處理，晶圓上不同位置間溫差最小的Matlab程序設計思路

ID:605969 · 發表于 2019-9-1 10:49

半導體晶圓熱處理溫控Matlab編程程序
半導體晶圓的熱處理、光刻工藝中的烘烤操作、針對烘烤操作的溫度控制器、PI反饋控制、控制器的反饋信號是烘烤板溫度、最終使晶圓上溫度分布穩定并達到指定溫度、要求晶圓上不同位置間溫度差最小、Matlab編程、可編程多區域熱處理系統的狀態空間模型

ID:540100 · 發表于 2019-9-2 15:59

半導體晶圓熱處理，來錯片場了吧

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